超快│╃、紫外鐳射微加工對加工精度的要求已經達到了微米尺度│◕↟,達到甚至小於普通 CCD 相機的畫素尺寸╃◕☁。小尺度光斑的精密的量需要對光斑進行放大│◕↟,而在放大過程中需確保放大倍率的定量準確性│╃、放大光路的光學品質等╃◕☁。先鋒科技研發的精密焦點測量儀│◕↟,集放大│╃、衰減│╃、光斑分析為一體│◕↟,放大倍率經過準確定標│◕↟,提供便利使用的緊湊型│╃、一體式微米尺度焦斑分析功能╃◕☁。焦斑分析儀充分考慮微加工鐳射的引數和微加工現場的光路結構│◕↟,整合鐳射輸入準直基準│◕↟,鐳射衰減模組│◕↟,高倍率│╃、高保真│╃、高損傷閾值放大光路│◕↟,以及高解析度專業光斑分析儀╃◕☁。使用者只需將整體裝置放置到場鏡 / 聚焦透鏡下│◕↟,簡單對準即可對加工鐳射的焦點光斑進行完整分析 , 而無需搭建繁瑣的光路╃◕☁。系統採用緊湊型整體式設計│◕↟,方便移動│◕↟,可用於多個機臺靈活測試╃◕☁。根據不同的應用場景│◕↟,焦斑分析儀分為常規 FSA 系列│╃、組合式 FSA-M 系列│╃、摺疊光路 FSA-F 系列三個系列│◕↟,10x│╃、20x 兩種放大倍率和 UV│╃、VIS│╃、NIR 三種波段範圍產品╃◕☁。其中₪│◕·:
• FSA 系列₪│◕·:標準光路│◕↟,一體式設計│◕↟,兩級分束反射式衰減;
• FSA-M 系列₪│◕·:模組式│◕↟,兩級可拆卸分束模組│◕↟,可拆卸光斑分析儀;
• FSA-F 系列₪│◕·:摺疊光路│◕↟,長度較短│◕↟,適應空間限制場合╃◕☁。

主要特點₪│◕·:
• 免除錯固定光路│◕↟,入口準直基準│◕↟,即插即用;
• 10x - 20x 放大│◕↟,適用不同尺度的焦斑;
• 專用高功率鏡頭│◕↟,確保系統安全;
• 一維│╃、二維彩色│╃、三維直觀顯示焦斑形貌│◕↟,優劣一眼知;
• 放大倍率經過校準│◕↟,軟體直讀焦斑尺寸;完整的光斑引數計算功能₪│◕·:直徑│╃、中心│╃、重心│╃、橢圓度│╃、高斯擬合等;
• 功率 / 能量密度計算;
• 焦點位置漂移與穩定性測試╃◕☁。
